、氣體、液體三態(tài)后，列為物質(zhì)的第四態(tài)，由正離子、負(fù)離子、電子和中性離子組成，因體系中正負(fù)電荷總數(shù)相等，故稱為“等離子體”。

等離子體按粒子溫度可分為平衡態(tài)（電子溫度=離子溫度）與非平衡態(tài)（電子溫度>>離子溫度）兩類

。

非平衡態(tài)等離子體電子溫度可上萬度

，離子及中性離子可低至室溫，即體系表觀溫度仍很低，故稱“低溫等離子體”，一般由氣體放電產(chǎn)生。

低溫等離子體技術(shù)是近年發(fā)展起來的廢氣處理新技術(shù)

，低溫等離子體處理廢氣的原理為： 

當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)

，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，以達(dá)到降解污染物的目的。

低溫等離子體技術(shù)處理污染物的原理為：在外加電場(chǎng)的作用下

，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量高能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)